長興化工與化學機械研磨漿

  臺灣本土生產化學機械研磨漿之主要廠商為長興化工(Eternal Chemical)。長興化工自1995年即跨足化學機械研磨漿之研究,當時臺灣之銅製程剛起步,所有原物料供應大廠都進入轉換新配方的時期,長興看準時機,和工研院化工所、電子所及中科院化學所合作,切入半導體銅製程化學機械研磨漿之研發。2000年長興化工研發出銅製程用化學機械研磨漿,獲得美、日等國專利,並奪得第九屆經濟部產業科技發展獎「卓越成就獎」。2000年4月長興化工選擇與研磨墊市占率第一之美商RODEL策略聯盟, Applied Materials全數使用長興化工所產製之化學機械研磨漿,共同進軍國際市場。化學機械研磨漿通常都是與機台綁在一起,Applied Materials是全球半導體設備龍頭,此策略聯盟之簽訂對長興化工而言深具意義。2002年,經六年研發,長興化工之化學機械研磨漿通過台積電及聯電等大廠之認證,開始接單生產;2003年接到歐洲半導體大廠意法半導體訂單,正式進入國際市場。在通過國際大廠認證之激勵下,長興決定將主攻化學機械研磨漿之半導體材料事業體獨立出去,成立「長興開發科技公司」,並投資3.47億在路竹科學園區設立新廠。初期預估化學機械研磨漿最大年產能3萬噸,並發展一系列銅製程化學機械研磨漿及研磨製程相關清潔液,提供半導體及液晶顯示器產業原材料製造與銷售,使長興開發在半導體關鍵原物料的發展上,跨出更大的步伐。

 

  長興的利基在於以本業核心技術為基礎,配合臺灣每一階段最前端產業所需的材料,投入研發並供應,因此目前各產業的龍頭廠商幾乎全是長興的客戶。

 


出處:陳信文、李文乾主編,《臺灣化工史第三篇:臺灣現代化學工業史—擴張期(1986-2010)》,臺北市:臺灣化學工程學會,2012年5月,頁33-38。

 

深層閱讀推薦